来源：河北省发改委2020-06-03

产品覆盖平板显示、led、光伏电池、芯片制造等诸多领域，涉及溅射、蒸发、多弧离子镀等多种pvd技术以及pecvd、lpcvd、mocvd 等多种cvd 技术用单体和连续化生产高技术装备。

来源：天风机械团队2020-06-02

格局固化：pecvd端龙头pecvd设备是公司核心的产品，也是重要的毛利来源，其采用的核心技术和设备关键性能整体均处于国际先进水平。...公司核心新品pecvd二合一性能占优，得到龙头认可：管式pecvd设备管径更大，产能更高，同时镀膜的致密性与均匀性也得到进一步提升，实际的钝化效果改善明显，有助于下游客户生产成本的下降，市场需求较好。

来源：老成之见2020-06-02

根据上市公司与产业信息，目前钧石能源自研产线可以支撑量产电池片平均效率达到24.2%；理想万里晖pecvd设备实现实验室转换效率25.1%；迈为股份自主研发生产pecvd与丝网印刷设备，且已具备提供hjt

来源：北极星太阳能光伏网2020-06-01

此前，爱康已经在中试研发线引进了捷佳伟创220mw rpd设备，在后续扩产前将在某些关键工艺设备上实行共同研发，主要聚焦等离子化学气象沉积镀膜设备(pecvd)和新式tco镀膜设备，双方将共同开发具有自主知识产权和技术专利的新技术和新工艺

来源：招商证券 雪球2020-06-01

pecvd不管在理论上还是工艺上都是可行的，此前产业中存在pecvd能否做大的争论。...一旦彻底突破，pecvd的gw投资将从5亿下降到2.5亿 pecvd突破将带动设备投资快速下降。

来源：光伏测试网2020-05-27

pecvd主要由工艺管及电阻加热炉、净化推舟系统、气路系统、电气控制系统、计算机控制系统、真空系统6大部分组成。...pecvd方法区别于其他cvd方法的特点在于等离子体中含有大量高能量的电子，它们可以提供化学气相沉积过程所需的激活能。

来源：长江商报2020-05-27

金辰股份本次非公开发行募集资金金额不超过3.8亿元（含3.8亿元）主要用于年产40台（套）光伏异质结（hjt）高效电池片用pecvd设备项目及补充流动资金。...目前，具备供应量产hjt电池生产设备（尤其是关键工艺设备pecvd）能力的主要为国外厂商，如梅耶博格、松下等，设备价格昂贵，整线设备投资高达10亿元/gw左右。

来源：北极星太阳能光伏网2020-05-25

据了解，本次金辰股份非公开发行募集资金金额不超过3.8亿元，扣除发行费用后的募集资金净额将用于投资年产40台(套)光伏异质结(hjt)高效电池片用pecvd设备项目及补充流动资金。...对此，金辰股份指出，项目的实施将有助于其进一步开拓光伏电池片生产设备的产品线，抓住光伏电池技术升级的关键时机抢占光伏电池片的核心生产装备pecvd设备的市场，进一步提高公司在光伏行业智能制造装备领域的市场地位

来源：光伏技术2020-05-22

本实验采用原子层淀积(ald)的方式生长al2o3；在al2o3表面镀一层约150nm的sixny保护层后，使用pecvd技术在硅片正表面镀一层厚度约为80nm的sixny减反膜；3.

来源：中银证券2020-05-19

根据上市公司与产业信息，目前钧石能源自研产线可以支撑量产电池片平均效率达到24.2%；理想万里晖pecvd设备实现实验室转换效率25.1%；迈为股份自主研发生产pecvd与丝网印刷设备，且已具备提供 hjt

来源：光伏們2020-05-19

工艺流程简单 异质结电池的另一项优势在于工艺步骤相对简单，以梅耶博格所开发的整合沉积正反面非晶硅薄膜的 helia pecvd 及沉积电池正反面的透明氧化物导电薄膜（tco）的helia pvd 设备来说...，藉由四个主要设备来完成八个工艺步骤，使得工艺流程极大地简化，生产场地占地面积大大缩小，其工艺步骤如下：01、制绒清洗机 ：电池正反面制绒 02、等离子体增强化学气相（pecvd）沉积正面本征非晶硅薄膜

来源：摩尔光伏2020-05-19

从表1 可以发现，a型416管式pecvd 机台与b型308管式pecvd机台生产的电池的效率存在明显差异。...虽然a型416管式pecvd 机台每炉生产电池的数量较b 型308 管式pecvd 机台增加了108片，但炉内镀膜的均匀性变差。

来源：摩尔光伏2020-05-18

磷硅玻璃的存在使得pecvd后产生色差,在pecvd工序将使镀的sixny容易发生脱落，降低电池的转换效率。

来源：民生证券2020-05-15

但尽管如此，pecvd 设备的追逐者仍多于 ald 设备， 其原因在于：（1）电池生产商都已熟练运用 pecvd 设备进行电池正面的氮化硅膜沉积，并且 pecvd 设备在正面钝化的应用中已经积累了巨大的装机量

来源：纳米人2020-05-12

现有报道的所有二端硅基太阳能电池均需要一层额外制备的中间层（隧穿或者复合层），中间层通常需要高真空如磁控溅射或者pecvd等制备，这样便增加了制备的成本及难度。

来源：摩尔光伏2020-05-12

voc的损失主要在体内复合，所以减少各种复合中心（硅片各类缺陷、暗纹、沾污等）是提高voc的有效方法；b)影响短路电流isc的因素包括：1）绒面减反射效果；2）扩散pn结结构；3）后清洗去边结效果；4）pecvd

来源：华创证券2020-05-08

本征非晶硅薄膜沉积采用化学气相沉积法，根据所用设备的不同，可分为pecvd和hwcvd两种，目前pecvd 为主流路线。...但 hwcvd 的劣势在于，镀膜均匀性不及 pecvd，另外热丝使用过程中不可避免地老化和损耗问 题，制约了设备的 uptime，增加了设备的运行成本，目前松下的量产技术采用了 hwcvd 法。

来源：爱旭2020-04-30

创新性采用管式pecvd制备perc电池，解决了管式pecvd设备的工艺控制难题，成为最早实现perc电池大规模量产的企业之一，首创管式perc技术综合性能优越，拥有多项核心专利，更获得第二十一届中国专利奖

来源：电新产业研究2020-04-30

pecvd和pvd都是板式设备，其加工能力取决于载板面积，比如梅耶博格的pecvd载板一次可以放置56片（7*8）硅片，美国应材的6代pecvd一次可以放置99片（9*11）硅片，硅片尺寸变大之后，可以通过做大载板面积或者减少硅片放置数量来解决

来源：信达证券2020-04-28

中期来看，电池技术路线由单晶perc向topcon、perc+以及hjt过渡，捷佳伟创持续跟进n型双面、非晶硅/晶体硅异质结(hit)等高效晶硅电池工艺、管式pecvd镀膜工艺、氧化铝二合一工艺、lpcvd