来源：集邦新能源网2022-10-28

主要分歧在隧穿层及多晶硅镀膜工艺上有所区别，目前的主流工艺是lpcvd+磷扩；pecvd工艺优势明显，目前正处于产业化验证期；pvd法主要是中来在布局，peald主要是通威、微导在主导。

来源：储能科学与技术2022-10-12

1.2 化学气相沉积法(cvd)cvd是一种常见的自下而上的方法，该方法可以在各种类型的衬底上生长tmds纳米材料。例如，ji等通过cvd工艺在sio2/si衬底上制备了vs2纳米片。

来源：金石能源2022-09-28

，并重点介绍了金石能源大腔室pecvd设备对于加速异质结（gw级）规模产业化的重要作用与意义。...经测算，金石能源7.0 pecvd设备与常规的600mw机型相比，设备能耗可省30%，特气耗量省25%，占地面积省17%，产线利用率高，厂房基建及厂务投资减少15%。

来源：北极星太阳能光伏网2022-09-26

2022年，光伏异质结电池产业化速度显著加快，福建金石能源有限公司产线项目部总经理庄辉虎从产能提升、成本降低及电池效率提高等诸多方面，分析了目前异质结产业化的现状和关键问题，并重点介绍了金石能源大腔室pecvd

来源：北极星太阳能光伏网2022-09-24

据了解，pecvd设备是异质结电池生产线中价值最高的设备，实现pecvd设备降本增效有助于加速异质结规模产业化应用。...经测算，金石能源7.0 pecvd设备与常规的600mw机型相比，设备能耗可省30%，特气耗量省25%，占地面积省17%，产线利用率高，厂房基建及厂务投资减少15%。

来源：中国储能网2022-09-23

该公司在此前表示，其对2022年的美国部署预测与之前的预测相比已下调了约30%，其中一个主要驱动因素是对进口光伏组件征收的反倾销反补贴税(ad/cvd)关税的不确定性。

来源：北极星太阳能光伏网2022-09-14

目前已在江苏徐州设立普乐新能源科技（徐州）有限公司（下称“普乐徐州”），普乐徐州已掌握基于激光se的 n 型topcon电池工艺、基于lpcvd 的ibc 电池工艺和基于激光掺杂的hbc电池工艺等多种超高效

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2022-09-13

；在topcon领域，公司可提供pecvd&pvd镀膜设备。...如金辰股份具备topcon pecvd及hjt pecvd核心设备，捷佳伟创实现perc+/topcon/hjt设备全覆盖，晟成光伏在hjt异质结领域，可提供制绒、清洗制等湿法工艺设备，供制绒、清洗制等湿法工艺设备

来源：广东省工信厅2022-09-08

重点支持大面积透明导电氧化物（tco）导电玻璃镀膜设备、多靶位磁控溅射系统、多线切割机、自动分选机等硅片生产设备；多槽制绒清洗设备、激光刻蚀机、全自动大面积等离子增强化学气相沉积装备（pecvd）、干法刻蚀机

来源：广东省工业和信息化厅2022-09-05

重点支持大面积透明导电氧化物（tco）导电玻璃镀膜设备、多靶位磁控溅射系统、多线切割机、自动分选机等硅片生产设备；多槽制绒清洗设备、激光刻蚀机、全自动大面积等离子增强化学气相沉积装备（pecvd）、干法刻蚀机

来源：北极星太阳能光伏网2022-09-05

答：lpcvd、pecvd作为topcon电池生产技术工艺路线的两种方式，各有特点。目前lpcvd较为成熟，公司采用lpcvd技术，于行业内率先实现量产。

来源：北极星太阳能光伏网2022-09-02

双方于2021年起研发高效hjt电池，迈为提供蓝膜片全部工艺制程，在其自主研制的异质结高效电池量产设备（包括清洗制绒、pecvd、pvd等）上完成。

来源：金辰股份2022-08-18

据悉，2020年，金辰股份组建团队开始研发hjt pecvd设备；2021年6月，金辰股份自主研发的首台hjt pecvd设备进驻晋能科技并成功通过设备工艺验证；今年首台基于微晶工艺的hjt pecvd

来源：苏州晟成光伏2022-07-26

近期，2022年度江苏省工业和信息产业转型升级专项资金（第三批）拟安排项目公布，晟成光伏“基于pecvd&pvd技术的高效节能topcon电池镀膜设备的研发”项目成功入选关键核心技术（装备）攻关产业化版块...晟成光伏高效节能topcon电池镀膜设备，基于智能制造设计理念，采用具有自主知识产权的硅片清洗技术、pecvd&pvd结合的新型工艺路线及动态镀膜技术，实现topcon电池生产工艺中的界面氧化物生长、本征多晶硅沉积及磷元素原位掺杂三大核心环节高效低能耗生产

来源：正泰新能2022-07-26

经历制绒、硼扩、 lpcvd、磷扩、丝网烧结等多道工序，第一片n型topcon电池在万众期待中缓缓流出生产线，现场掌声如潮。

来源：湖南省发改委2022-07-11

兆瓦级风电整机年产能达到1000套以上，稳居全国前列，形成中部六省综合配套能力最强的风电产业集群；高效太阳能电池制造产能超过1gw，cvd、pvd及扩散氧化类设备具备较高的自主研发能力，产品达到行业一流水平

来源：北极星垃圾发电网2022-07-04

兆瓦级风电整机年产能达到1000套以上，稳居全国前列，形成中部六省综合配套能力最强的风电产业集群；高效太阳能电池制造产能超过1gw，cvd、pvd及扩散氧化类设备具备较高的自主研发能力，产品达到行业一流水平

来源：湖南发改委2022-07-01

兆瓦级风电整机年产能达到1000套以上，稳居全国前列，形成中部六省综合配套能力最强的风电产业集群；高效太阳能电池制造产能超过1gw，cvd、pvd及扩散氧化类设备具备较高的自主研发能力，产品达到行业一流水平

来源：湖南省发改委2022-07-01

兆瓦级风电整机年产能达到1000套以上，稳居全国前列，形成中部六省综合配套能力最强的风电产业集群；高效太阳能电池制造产能超过1gw，cvd、pvd及扩散氧化类设备具备较高的自主研发能力，产品达到行业一流水平

来源：苏州晟成光伏2022-06-23

该技术方式可以有效减少甚至避免目前行业内lpcvd设备出现的绕镀问题，以及管式pecvd容易出现的爆膜、石墨舟寿命低及量产不稳定的问题，同时又可以进一步规避采用大尺寸线性离子源依赖进口、造价昂贵和膜层均匀性较差的问题