来源：工信部网站2012-02-24

芯片制造能力持续增强，65纳米先进工艺和高压工艺、模拟工艺等特色技术实现规模生产;方形扁平无引脚封装(qfn)、球栅阵列封装(bga)、圆片级封装(wlp)等各种先进封装技术开发成功并产业化;高密度离子刻蚀机、大角度离子注入机

来源：中商情报网2012-02-24

支持刻蚀机、离子注入机、外延炉设备、平坦化设备、自动封装系统等设备的开发与应用，形成成套工艺，加强12英寸硅片、soi、引线框架、光刻胶等关键材料的研发与产业化，支持国产集成电路关键设备和仪器、原材料在生产线上规模应用

来源：北极星太阳能光伏网2012-02-24

支持多槽制绒清洗设备、全自动平板式等离子体增强化学汽相沉积（pecvd）、激光刻蚀机、干法刻蚀机、离子注入机、全自动印刷机、快速烧结炉等晶硅太阳能电池片生产线设备和pecvd等薄膜太阳能电池生产设备。

来源：中达电通股份有限公司2012-02-21

日前，成都嘉石科技建设的物联网高端制造核心项目提出了对厂区光刻设备和离子注入设备提供不间断电源供电保护，台达ntups电源以其完美的解决方案为其项目提供电力保障。

来源：北极星太阳能光伏网2012-02-14

我们的离子注入技术正按计划不断成熟，我们的计划是在今年五月上海举行的太阳能展会上推出此系统。...亏损的主要原因是几个月来高昂的研发经费用于在snec中国展出光伏应用的离子注入工具。amtech首席执行官fokkopentinga表示：低迷开始之际，我们在销售额面临压力之际快速行动降低支出。

来源：PV-Tech2012-01-17

此外，48所为突破太阳能电池转化效率瓶颈，还引入离子刻蚀与离子注入工艺技术，其中离子反应刻蚀技术、离子注入掺杂技术项目获得2012年度国家863计划先进能源领域重点支持。

来源：北极星太阳能光伏网2012-01-17

同时，为了突破太阳能电池转化效率瓶颈，中电48所果断引入离子刻蚀与离子注入工艺技术，其中《离子反应刻蚀技术、离子注入掺杂技术》项目获得2012年度国家863计划先进能源领域重点支持。

来源：PV-Tech2011-11-21

公司还表示将在明年的上海snec展会上推出新的离子注入工具，今年晚些时候还将推出一种新的太阳能电池扩散工具以及其它产品来扩大公司的太阳能产品系列范围。

来源：北极星太阳能光伏网2011-11-15

此次收购使应用材料公司获得了维利安公司市场领先的离子注入技术。...维利安半导体曾获得美国能源部sunshot计划480万美元的资金支持，用于背接触光伏电池的等离子注入工艺研发，并在2011年2月的上海snec展会推出了solionpv离子注入平台。

来源：北极星太阳能光伏网2011-11-02

半导体设备有限公司维利安(variansemiconductorequipmentassociates)和正泰(astronergy)公司表示，经过短短两个月的合作，他们通过使用维利安的沙里昂离子注入系统开发了新的生产工艺

来源：PV-Tech2011-09-07

维利安的沙立昂设备使用的是将掺质剂导入半导体原料的离子注入技术，而不是简单的扩散参杂。该公司称该工艺简化了生产流程，还将电池效率提高到19%以上。...维利安半导体设备有限公司(variansemiconductorequipmentassociates)今天宣布其沙立昂离子注入设备在光伏电池生产商中得到广泛应用。

来源：北极星太阳能光伏网2011-09-01

记者近日从浦东企业上海凯世通半导体有限公司获悉，该公司研制的太阳能电池关键设备离子注入机将在今年年底前完成出样，这也将成为首台在中国出产的太阳能离子注入机，预计到2013年将实现量产。...根据凯世通的规划，从现在起将太阳能离子注入机实现产业化和市场化，2013年实现量产，到2015年，成为引领太阳能专用离子注入机研发和生产的行业领头羊，年收入达到2亿美元，并实现公司上市，预计未来10年后

来源：北极星电力新闻网2011-05-09

此后维利安一直主宰离子注入设备市场，市场占有率高达80%。此外，维利安还设法将离子注入技术引入太阳能行业，这一技术有可能将电池效率提高2%。...不过，这并非是应用材料公司第一次涉足离子注入设备市场。应用材料曾在这一领域与维利安半导体分庭抗礼，但最终落败将市场第一拱手让出，并于2007年停止了离子注入设备业务。

来源：中国电子报2011-04-21

第四，我们正在探索基于48所独有基础的全新工艺，如正在开发把离子注入技术和材料改性技术等应用到太阳能电池技术和光伏组件生产环节中，并已取得较大进展。

来源：索比太阳能2011-04-19

在他更新过的关于n-type太阳能电池的陈述中表明，这一科技的独特优势在于：它对铁等金属杂质的高免疫力有效抵御了硼氧化引起的光感应退化，它更好的弱光感应能力，以及被识别的同族硼扩散和已有的相关解决方案，例如通过离子注入

来源：常州日报2011-03-26

中科院上海微系统所已有80多年历史，中国第一颗具有自主知识产权的存储转发通信小卫星、第一炉电弧炉钢、第一台60万伏离子注入机、第一块双极型集成电路和第一块单片光集成器件均在此诞生。

来源：中国电子报2011-02-17

48所而言，我们一下步将围绕现有光伏设备提高自动化程度，建立智能的而不是粗放的太阳能电池生产线;今年将投入1.6亿元集中把mocvd设备开发出来并延伸出自己的led产业链和产业集群;ic设备领域要围绕离子注入机进一步提高水平

2010-04-22

一代工艺影响一代产品，电力电子工艺技术精密复杂，我国在低温键合、离子注入、类金金刚石膜等一些新型的关键工艺技术上，还缺乏系统的创新能力，必须加速其研发进程。 　　在产业化能力建设方面需要上新台阶。

2006-11-02

设计结果在生产工艺线得到实验验证，总符合率达到80％．力敏器件的平面工艺进行计算机模拟，确定了平面工艺中扩散、离子注入、氧化、再扩散等关键制造工艺的计算机模拟程序。

2006-10-10

4、赢得国际平等对话 　　100纳米离子注入机是芯片制造装备的核心设备，然而，我国在离子注入机核心技术上始终技不如人，这种局面一直使得国内从事离子注入机技术的科研人员抬不起头来。