来源：国家知识产权局2018-02-02

国家知识产权局2018年1月17日一、智能制造产业部分：3.3光电子制造关键装备3.3.1新型光通信器件制备3.3.2半导体照明制备3.3.3高效光伏电池制备3.3.4微机电系统传感器制备二、有关于可再生能源部分

来源：北极星电力网2018-01-30

3.2.2 关键智能基础零部件3.2.3 智能加工、先进工艺和重大智能成套装备3.3 光电子制造关键装备3.3.1 新型光通信器件制备3.3.2 半导体照明制备3.3.3 高效光伏电池制备3.3.4 微机电系统传感器制备

来源：北极星环保网2018-01-26

3.2.1智能测控装置3.2.2关键智能基础零部件3.2.3智能加工、先进工艺和重大智能成套装备3.3光电子制造关键装备3.3.1新型光通信器件制备3.3.2半导体照明制备3.3.3高效光伏电池制备3.3.4微机电系统传感器制备

来源：北极星环保网2018-01-16

集成电路：研发半导体存储器，智能终端系统级芯片（soc）、基于12英寸生产线的20nm级芯片、电力电子芯片，射频、数模混合、微机电系统（mems）等特色制造工艺，高密度封装、3d微组装技术，大硅片、光刻胶

来源：北京日报2017-12-26

发展高性能光纤传感器、视觉传感器、微机电系统传感器、多参数复合传感器等工业用高端传感器。发展面向复杂工况的工业过程在线分析检测仪器。支持智能变送器、仪器仪表的研发和产业化。

来源：工信部2017-12-15

发展市场前景广阔的新型生物、气体、压力、流量、惯性、距离、图像、声学等智能传感器，推动压电材料、磁性材料、红外辐射材料、金属氧化物等材料技术革新，支持基于微机电系统（mems）和互补金属氧化物半导体（cmos

来源：物联网资本论2017-11-06

公司还提供微机电系统(mems)传感器技术平台，能够打造集射频、基带、微处理器、嵌入式闪存、微机电系统传感器于一体的单芯片系统(soc)、系统级封装(sip)、晶圆级封装(wlp)、2.5d封装等一站式服务

来源：北极星售电网2017-10-13

中新苏州工业园区开发集团股份有限公司2237 苏州 腾飞新苏置业(苏州)有限公司2238 苏州 日精塑料机械(太仓)有限公司2239 苏州 中新苏州工业园区置地有限公司2240 苏州 腾飞新苏置业(苏州)有限公司2241 苏州 迈可微机电科技

来源：河北省发改委2017-07-10

（4）第三代半导体材料及关键技术产业化，专用集成电路、工业控制软件，微机电系统技术研发及产业化。

来源：digitimes2017-05-11

magnetostrictive)及压电型(piezoelectric);而因为压电型发电是利用外在环境的振动力使压电材料变形，因此改变了压电材料的电场，进而产生电流，因此具有较高的力电耦合效应，再加上可以用微机电

来源：北极星风力发电网2017-03-27

推动发展自动化控制系统、在线分析仪表、机械装备功能检测设备、科研检测分析仪器、食品化学及医疗检测仪、石油地质勘探仪、煤矿安全监测系统、环境保护检测仪、电力电子监测仪器等先进仪器设备，鼓励开展微机电系统（

来源：北极星环保网2017-03-27

推动发展自动化控制系统、在线分析仪表、机械装备功能检测设备、科研检测分析仪器、食品化学及医疗检测仪、石油地质勘探仪、煤矿安全监测系统、环境保护检测仪、电力电子监测仪器等先进仪器设备，鼓励开展微机电系统（

来源：北极星电力网2017-03-24

推动发展自动化控制系统、在线分析仪表、机械装备功能检测设备、科研检测分析仪器、食品化学及医疗检测仪、石油地质勘探仪、煤矿安全监测系统、环境保护检测仪、电力电子监测仪器等先进仪器设备，鼓励开展微机电系统(

来源：头条号/信立科技2017-03-13

提供精确可靠的产品，包括助听器元件、mems（微机电系统）麦克风、扬声器、受话器、传感器、电容器、振荡器等。...stmicroelectronicss（意法半导体）传感器产品包括mems（微机电传感器，包括加速度计、陀螺仪、数字罗盘、惯性模块、压力传感器、湿度传感器和麦克风）、智能传感器、sensorhub、温度传感器和触摸传感器

来源：北极星环保网2017-02-24

在制造环节，加快45nm/32nm/28nm先进工艺芯片的研发及产业化，引进和吸收先进生产制造工艺，推动22/20nm、16/14nm等先进生产线建设，发展先进高压电路、数模混合集成工艺、微机电系统(mems

来源：北极星电力网2017-02-23

强化物联网关键环节技术攻关及产业化，主要包括微机电系统、传感器、组网技术、共性支撑技术等，建设四川物联网中心。软件支撑能力提升工程：推动基础软件核心关键技术突破，加快新兴领域基础控制及应用软件发展。

来源：北极星风力发电网2017-02-06

100项）（一）战略性新兴产业(42项） 1 四方智慧云科技河北有限公司大数据云中心（藁城区）2 张北分享云、航信金云计算数据中心（张北）3 河北国超信息科技有限公司国超创新科技众创总部（辛集）4 中科微机电技术

来源：北极星电力网2017-02-04

100项)(一)战略性新兴产业(42项)1 四方智慧云科技河北有限公司大数据云中心(藁城区)2 张北分享云、航信金云计算数据中心(张北)3 河北国超信息科技有限公司国超创新科技众创总部(辛集)4 中科微机电技术

来源：北极星电力网2016-12-08

重点突破高性能光纤传感器、微机电系统(mems)传感器、视觉传感器、分散式控制系统(dcs)、可编程逻辑控制器(plc)、数据采集系统(scada)、高性能高可靠嵌入式控制系统等核心产品，在机床、机器人

来源：新华网2016-12-08

以微机电系统技术为基础的智能传感器发展水平已成为衡量一个国家是否具有国际竞争优势的重要标志。