来源：北极星电力网2016-04-01

加强与中电科集团合作，建设国内领先的微机电系统(mems)化学传感器产业化基地。推广军民两用卫星激光通信技术，加快建设空间激光通信研发基地。

来源：赛迪智库2016-03-16

四、通过石墨烯及其相关材料开发射频用无源组件，如测试天线、电子互连、热扩散层、过滤器和微机电系统等无源组件，以及自混合天线、可用开关控制的屏障、光学透明器件等新型微波天线与器件，拓展其在高频电子领域的应用

来源：cnBeta2016-03-01

近期，英国萨里大学（universityofsurrey）联合军工厂商baesystems在光微机电系统(opto-mems）设备上的红外成像部分开展合作，通过纳米纹理化（nanotexturing）技术

来源：cnBeta2016-03-01

近期，英国萨里大学（universityofsurrey）联合军工厂商baesystems在光微机电系统(opto-mems）设备上的红外成像部分开展合作，通过纳米纹理化（nanotexturing）技术

来源：仪器信息网2016-02-18

5.微机电系统技术以微米、纳米加工技术为基础制造的，集微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路等于一体的微机电系统(mems)技术等。

来源：《中国高校之窗》2016-01-11

李宏男教授团队的该项技术发明的关键词在于高灵敏度、精确解调、同步采集，为此需要多学科的交叉融合、集成创新，它涉及土木、力学、光学、信号、微机电系统等诸多领域。

来源：雷锋网2015-12-24

不仅如此，很多经过物理/化学气相沉积(pvd/cvd)制备的全固态电池，其整体厚度可能只有几十个微米，因此就可以制成非常小的电源器件，整合到mems(微机电系统)领域中。

来源：中关村在线2015-11-20

如，基于微机电系统(mems)的传感器，它是传感器市场的主打产品。据科技市场研究机构ic-insights的数据显示，2014年全球所售传感器的80%均是基于mems技术。

来源：前瞻产业研究院2015-11-16

2015年起，韩国未来科学创造部和产业通商资源部将投资370亿韩元(约合2.26亿元人民币)用于物联网核心技术以及微机电系统(mems)传感器芯片、宽带传感设备的研发。

来源：传感器专家网微信2015-11-06

制造商们开始找寻创新应用，意法半导体与博世公司都认为，环境传感器将是接下来微机电系统传感器一大重要发展方向。意法半导体技术行销经理苏振隆表示，环境感测将是下一波mems传感器趋势。

来源：电子产品世界2015-10-13

随着微机电系统、片上系统、无线通信和低功耗嵌入式技术的飞速发展，孕育出的iot为输电线路的现场环境监测提供了全天候、低成本、高可靠性和高冗余度的解决方案。

来源：新电子2015-08-24

因此基于精密和高速的转换器、线性产品、射频、微机电系统和感测器、专用数位处理器等核心技术不断创新，未来针对通讯、汽车、医疗和工业市场，提供终端客户针对性的专用晶片，以及解决方案和服务，将是半导体公司在2015

来源：高工锂电网2015-08-13

相对而言，微型超级电容器的成本要求并没有普通电容器那么严格，以石墨烯复合材料作为电化学活性材料，并选择合适的离子液体电解液，有可能实现制备兼具传统电容器和锂离子电池双重优势的储能器件，在微机电系统(mems

来源：电子工程专辑2015-08-11

电子产业迫切需要新的微机电系统(mems)来推动传感器和物联网(iot) 的发展。

来源：电气技术2015-07-28

另外，随着微机电系统(micro electro mechanical system， mems)及低功耗电子技术的进步，市场上出现了越来越多的小型、低能耗的手持移动设备。

来源：电气技术2015-07-28

另外，随着微机电系统(micro electro mechanical system， mems)及低功耗电子技术的进步，市场上出现了越来越多的小型、低能耗的手持移动设备。

来源：工控中国2015-06-30

传感器体积越来越小，功能越来越强大归功于当前计算机技术、辅助设计技术和集成电路技术、微机电系统(mems)技术的快速发展。(2)智能化。

来源：高工锂电网2015-06-25

相对而言，微型超级电容器的成本要求并没有普通电容器那么严格，以石墨烯复合材料作为电化学活性材料，并选择合适的离子液体电解液，有可能实现制备兼具传统电容器和锂离子电池双重优势的储能器件，在微机电系统(mems

来源：36Kr2015-06-04

据venturebeat消息，google收购了lumedyne technologies，一家专注于制造多种类型的微机电系统(mems)传感器的公司。这笔收购涉及金额达8500万美元。

来源：OFweek 仪器仪表网2015-04-22

mems(微机电系统，主要包括压力、加速度和航向角传感器以及驱动器)器件约占传感器/驱动器整体市场份额的80%，2014年mems器件销售额增长约5%，创出74亿美元的新高(2013年销售额为70亿美元