来源：北极星太阳能光伏网（独家）2020-06-28

据了解，微导纳米以原子层沉积(atomiclayerdeposition，以下简称“ald”)技术为核心，致力于先进微、纳米级薄膜沉积技术和设备的研究与产业化应用，为光伏、集成电路、柔性电子等半导体与泛半导体行业提供高端装备与技术解决方案

来源：资本邦2020-06-23

公司以原子层沉积(atomiclayerdeposition，以下简称“ald”)技术为核心，致力于先进微、纳米级薄膜沉积技术和设备的研究与产业化应用，为光伏、集成电路、柔性电子等半导体与泛半导体行业提供高端装备与技术解决方案

来源：民生证券2020-05-15

pecvd 工艺仍然作为这一时期的主流沉淀技术，但是 ald 技术已强势崛起。2018 年， 新增的产能中有近 60%的产能采用 ald 沉积技术。...德国最大的组件厂商 solar world，使用氮硅化物作为背部钝化原料，率先实现 perc 电池的商业化，打开了 perc 电 池商用的可能性；同年，imec、rena 和 solaytec 三家公司采用 ald

来源：太阳能杂志2020-02-20

采用ald技术制备氧化铝膜，随着膜厚增加，样品的少子寿命退化，由此推测印刷氧化铝膜厚差异会影响少子寿命的稳定性。...2017 年12 月，协鑫集成、上海神舟新能源采用pecvd/ald 技术制备perc 多晶硅太阳电池，效率分别达到了20.15% 和20.32%。

来源：光伏测试网2019-11-18

随后，梅耶伯格站队隆基:“韩华声称是基于使用原子层沉积（ald），与隆基使用的制造工艺不同；目前隆基隆基采用的pecvd技术，专利采用的是ald技术。”

来源：光伏测试网2019-11-15

行业专家认为，技术上看，目前隆基、晶科等公司的perc技术产品采用的是pecvd技术，与涉案韩华专利采用的ald技术技术方法并不一致；此外韩华诉讼使用的专利是通过从其他研究机构经多次转移购买所得，其专利权与其他公司共有

来源：中国知识产权报2019-04-17

对于上述起诉，隆基股份方面表示，从技术上看，目前隆基产品与涉案专利采用的技术方法并不一致（专利技术采用的是ald技术，隆基采用的pecvd技术），同时表示：“根据媒体信息初步分析显示，韩华新能源诉讼使用的专利是通过从其他研究机构经多次转移购买所得

来源：中国商务新闻网2019-03-27

隆基绿能也于同日发布声明称，目前公司所采用的是pecvd技术，与涉案专利采用的ald技术并不相同。

来源：光伏测试网2019-03-27

2019年3月6日，韩华发表声明称晶科能源、隆基股份及rec等三家公司侵犯了其钝化技术专利，隆基方面则在声明中表示，隆基产品与涉案专利采用的技术方法并不一致，专利采用的是ald技术，而隆基采用的是pecvd

来源：北极星太阳能光伏网2019-03-15

目前隆基隆基采用的pecvd技术，专利采用的是ald技术。

来源：pv-magazine2019-03-13

隆基表示，有争议的专利与ald技术有关，隆基采用的是pecvd技术。相关链接：韩华起诉晶科、隆基和rec侵犯其专利权，最新回应来了!

来源：e公司2019-03-12

隆基股份表示，从技术上看，目前公司产品与涉案专利采用的技术方法并不一致，事涉专利采用的是ald技术，而公司采用的是pecvd技术；另据媒体信息初步分析，韩华诉讼使用的专利是通过从其他研究机构经多次转移购买所得

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2019-03-07

从技术上看，目前隆基产品与涉案专利采用的技术方法并不一致，专利采用的是ald技术，隆基采用的pecvd技术。

来源：隆基股份2019-03-06

从技术上看，目前隆基产品与涉案专利采用的技术方法并不一致（专利采用的是ald技术，隆基采用的pecvd技术）。仅根据现有媒体信息分析显示，目前相关诉讼对隆基的生产、经营不会造成实质性影响。

来源：亚化咨询2019-02-19

由于管式单插片ald技术采用alox同时钝化perc电池的正面和背面，因此对金属化工艺提出了更高的要求。浆料需匹配双面钝化膜，烧穿正面的alox膜的同时，还要保证良好的接触性能及合格的拉力水平。

来源：栖霞视点2018-11-12

目前，恩创是全球唯一掌握解决锂电池瓶颈的ald技术并且能够实现量产的企业。产业园建成后，不仅对锂电池正极材料进行加工，而且还生产和销售这样的精密设备，这一项目未来前景非常广阔。

来源：无锡先导智能装备股份有限公司2018-05-28

黎博士指出，江苏微导实现了高效晶硅电池量产关键技术的多个突破：n-pert电池保持国产高效电池最高量产效22%；p-perc电池突破技术瓶颈，在多家光伏标杆企业实现量产；ald技术成功用于perc电池量产电池效率达

来源：新能源投融资圈2018-01-17

而相比于传统pecvd 钝化技术，ald 技术使钝化膜更薄，并且大大降低tma 使用量，从而使成本降低。...(2)ald 技术引用，进一步降低非硅成本钝化技术中，ald 技术性价比更高：背钝化材料中，氧化铝是目前市场首选。而影响背面钝化成本的两个核心因素是氧化铝膜厚度和tma 使用量。

来源：无锡先导智能装备股份有限公司2017-10-19

，在降低成本的同时提升转换效率配合微导ald技术，为多晶光伏perc电池效率突破20%的提供最佳量产方案...管式原子层沉积镀膜系统高质量超薄aldai203钝化膜全自动、高产能、高稳定性超低反应源耗量提升perc电池光电转换效率近1%最低的设备运营成本和综合成本后羿系列-板式化学气相沉积/原子层沉积镀膜系统板式空间cvd和ald

来源：无锡先导智能装备股份有限公司2017-08-30

其中专门为新型高效太阳能电池的表面钝化所开发的原子层沉积（ald）技术，在不到一年的时间内就完成了从技术评估、设计定案、机械和工艺验证，直到完成最终的客户应用评估等工作，并于今年2月份在客户端获得了超21%