来源：北极星太阳能光伏网2025-12-12

本次结项募集资金投资项目使用及节余情况公司本次结项的募集资金投资项目“超高效太阳能电池装备产业化项目—大尺寸多腔室扩散炉及pecvd设备生产线建设” 已达到预定可使用状态。...公司于2025年12月11日召开第五届董事会第十八次会议，审议通过了《关于部分募集资金投资项目结项及延期的议案》，同意公司将首次公开发行股票募集资金投资项目“超高效太阳能电池装备产业化项目—大尺寸多腔室扩散炉及

来源：西安市人民政府2025-05-16

锚定产业强链补链目标，围绕硅片、电池、组件设备配套需求，通过龙头企业释放配套份额，招引ald原子层沉积设备、扩散炉、蚀刻机、串焊机等领域设备制造企业。到2027年，培育招引设备企业5户。

来源：四川省发改委2025-01-10

四、项目设计、建设单位在落实节能报告各项措施基础上，应改进和加强以下节能工作： （一）鉴于制绒机、扩散炉、镀膜机、丝网印刷机、烧结炉、清洗机、热水机、干燥机、冷水机组、空压机等主要设备耗能占总能耗比重大

来源：北极星太阳能光伏网2024-12-31

1、超高效太阳能电池装备产业化项目—大尺寸多腔室扩散炉及pecvd设备生产线建设根据光伏行业情况，公司结合自身发展战略，谨慎使用募集资金，预计超高效太阳能电池装备产业化项目—大尺寸多腔室扩散炉及pecvd

来源：浙江省发改委2024-12-04

根据公示信息显示，此项目建设单位为浙江鸿禧能源股份有限公司，项目总投资约22.19亿元，新增用地约83亩，配置扩散炉、管式氧化炉、烧结炉、pecvd镀膜设备等主要生产设备，形成年产7gw n型topcon

来源：北极星太阳能光伏网整理2024-10-28

此次晶盛光子出口海外的产品包括pecvd、lpcvd和管式低压磷扩散炉三款最新设备。这三款电池片设备此次出口海外，将在很大程度推动高效电池技术扩产，更好满足全球不断增加的清洁能源需求。

来源：​中国光伏行业协会CPIA2024-06-28

我国光伏设备企业从硅材料生产、硅片加工、光伏电池片、组件设备的生产到相应的纯水制备、环保处理、净化工程的建设、以及与光伏产业链相应的检测设备、模拟器等，已经具备成套供应能力，部分产品如清洗设备、制绒机、扩散炉

来源：北极星太阳能光伏网2023-12-29

博海新能源10gw高效topcon太阳能电池项目（一期）拟位于合肥市庐江县高新区城西大道与外环路交口东北角，项目建设电池车间、仓库、硅烷站、特气站、笑气氨气站、综合楼及相关配套设施等，新增单晶制绒机、扩散炉

来源：宜兴市发展和改革委2023-12-06

加快发展溶液涂布设备、真空镀膜设备、丝网印刷设备、激光设备、等离子体化学气相沉积设备（pecvd）、扩散炉等光伏制造设备。到2025年，形成光伏组件产能11gw。持续开展分布式光伏应用示范。

来源：宜兴市发展和改革委员会2023-12-06

加快发展溶液涂布设备、真空镀膜设备、丝网印刷设备、激光设备、等离子体化学气相沉积设备（pecvd）、扩散炉等光伏制造设备。到2025年，形成光伏组件产能11gw。2.发展高附加值原辅材料配套产品。

来源：中国光伏行业协会2023-07-04

我国光伏设备企业从硅材料生产、硅片加工、光伏电池片、组件设备的生产到相应的纯水制备、环保处理、净化工程的建设、以及与光伏产业链相应的检测设备、模拟器等，已经具备成套供应能力，部分产品如清洗设备、制绒机、扩散炉

来源：中国光伏行业协会CPIA2023-07-03

我国光伏设备企业从硅材料生产、硅片加工、光伏电池片、组件设备的生产到相应的纯水制备、环保处理、净化工程的建设、以及与光伏产业链相应的检测设备、模拟器等，已经具备成套供应能力，部分产品如清洗设备、制绒机、扩散炉

来源：北极星太阳能光伏网2023-06-14

topcon电池设备，包括但不限于ald设备、peald设备、pecvd设备、管式氧化退火炉、管式扩散炉等，设备交付时间为2023年6月30日，第一台设备进厂，后续按照双方约定陆续交付。

来源：英孚康2023-05-30

目前已经实现包括生长炉、泛线切类设备、清洗机、扩散炉、刻蚀机、pecvd、电池片自动化设备、串焊机、层压机等设备的全面覆盖。

来源：集微网2023-05-19

比如扩散炉需要将炉内温度按照一定升温速率加热到700℃-1040℃左右，并且要快速将温度波动稳定在±0.5℃内，这对控温的精准度、可靠性和稳定性有极致的苛刻要求，温度一旦发生偏差，产品性能就会大打折扣甚至报废

来源：北极星太阳能光伏网2023-04-06

中国电科四十八所产品业务涵盖新能源光伏设备包括扩散炉、pecvd、电池片分选机、硅片分选机等；光伏产品涉及单多晶组件、柔性组件等。

来源：北极星太阳能光伏网2023-03-30

主要生产低压硼扩散炉、topcon激光掺硼设备、lpcvd设备等，低压硼扩散炉、topcon激光掺硼设备用于光伏电池生产领域。

来源：北极星太阳能光伏网2023-02-01

项目位于安徽省明光市产城新区宝塔山路以东、鲁山路以西、淮河大道以北，占地275亩，总建筑面积11万平方米，项目计划建设生产厂房、仓库、综合楼等，配套建设道路、供配电、给排水等基础设施，购置单晶制绒清洗机、管式硼扩散炉等生产设备

来源：北极星太阳能光伏网2021-07-21

据曹仁贤介绍，目前，我国在硅料生产、硅片加工、电池片生产、组件生产、环保处理、净化工程，以及相关的光伏检测、模拟器等各类生产设备方面，绝大部分已经实现国产化供应，部分产品如湿法清洗设备、制绒设备、扩散炉

来源：北极星太阳能光伏网2021-04-29

主要产品包括pecvd及扩散炉等半导体掺杂沉积工艺光伏设备、清洗、刻蚀、制绒等湿法工艺光伏设备以及自动化（配套）设备、全自动丝网印刷设备等晶体硅太阳能电池生产工艺流程中的主要及配套设备的研发、制造和销售