2006-11-02

成功地应用于10kpa～60mpa传感器的批量生产中，腐蚀硅膜片的最小厚度达到10／tm，精度控制在10％之内。...目前，沈阳仪器仪表工艺研究所扩散硅压力传感器的敏感膜片全部由精密化学腐蚀、大片静电封接、硅-硅键合等mems工艺完成。

2004-06-24

按制作工艺可将高频片式电感分为高频绕线式片式电感、高频薄膜片式电感及高频迭层式片式电感等三种，其中手机中用量较大的主要是高频迭层式片式电感和高频绕线式片式电感。