来源：中国能源报2018-08-22

目前，中国光伏设备企业从硅材料生产、硅片加工、光伏电池片、组件的生产，相应的纯水制备、环保处理、净化工程的建设，到与光伏产业链相关的检测设备、模拟器等，已经具备成套供应能力，部分产品如扩散炉、管式pecvd

来源：全景网2018-08-21

捷佳伟创成立至今，均主营生产pecvd（等离子体增强化学的气相沉积法）等晶体硅电池设备。...2017年捷佳伟创研发推出高产能、生产成本低的pd-450型pecvd设备pecvd设备是最贵的光伏设备之一，李时俊介绍说，刚推出时一台设备（即半条基本生产线）的价格约1200万至1400万人民币，一条基本生产线一年的产能是

来源：PV兔子2018-08-20

晶格匹配如果是iii-v族电池体系，不管是mocvd还是mbe，上层的电池都需要和下层的电池晶格匹配，否则就会长歪。

来源：OFweek太阳能光伏网2018-08-14

公司系国内领先的晶体硅太阳能电池生产设备制造商，主营pecvd设备、扩散炉、制绒设备、刻蚀设备、清洗设备、自动化配套设备等太阳能电池片生产工艺流程中的主要设备的研发、制造和销售。

来源：摩尔光伏2018-07-30

在pecvd生长的al2o3薄膜中，这两种形态的al2o3同时存在。...正面氮化硅使用中国电子科技集团公司第四十八研究所pecvd设备制备，高频信号发生器频率为40khz。采用西安隆基m2单晶硅片。使用sinton公司的wct120设备检测硅片的少子寿命。

来源：北极星太阳能光伏网2018-07-08

在欧洲还有一种薄膜发展，是在硅，把硅做成透光硅片，然后在表面做成多孔，利用cvd方法，在多孔上面，在外延一层薄膜单晶硅，利用这个单晶硅把它切割下来，薄片下来，可以到50个um，也可以把效率做到20.5%

来源：中国材料进展2018-06-29

laik等通过两步cvd的方法制备了si纳米颗粒与碳纳米管复合材料，碳纳米管能连接si和金属集流体，这有利于电子和锂离子的传输，使其表现出优异的电化学性能。...jia等利用高能球磨和cvd的方法合成了碳包覆的nisi2 /si核-壳结构，且nisi2材料为多孔结构。这种多孔的核-壳结构能有效的缓冲体积膨胀。

来源：盖世汽车网2018-06-19

该大学团队通过微波-等离子体化学气相沉积(mpcvd)技术合成了纳米金刚石界面，该技术在涂层应用上成本非常低。

来源：石墨邦2018-06-11

最近，更有日本研究者开发了低温cvd方法直接将石墨烯生长在塑料或者二氧化硅基底上，来避免单晶膜转移时可能受到的损伤。预计2018年会有更新颖的石墨烯制备技术出现。...美国能源部旗下的阿贡国家实验室(argonne national laboratory)新开发了一个应用金刚石衬底材料通过超高速化学气相沉积(cvd)法制备单晶石墨烯的技术，这个技术可以大大降低石墨烯膜的成本

来源：新兴产业观察者2018-06-07

同时中南大学、武汉理工大学以及北京化工大学等研究机构也都有研究，其中中南大学提出了化学气相沉积(cvd)热解炭改性碳纸的新技术，发明了与变形机制高度适应的异型结构碳纸，采用干法成型、cvd、催化炭化和石墨化相结合的连续化生产工艺

来源：摩尔光伏2018-05-28

3.2激光掺杂实验结果用四探针对激光扫描的2020mm的样片进行方块电阻的测量，然后四组实验在相同的工艺条件下进行洗磷刻蚀、pecvd镀减反膜、丝网印刷电极和烧结，制成成品电池片，并测试其电性能参数，不同激光功率对重掺杂区方块电阻以及最终对电池串联电阻的影响如表

来源：北极星输配电网整理2018-05-15

北方华创微电子的主要产品包括刻蚀、pvd、cvd、氧化/扩散、清洗、气体质量流量计等高端半导体工艺装备及核心零部件，广泛应用于集成电路、先进封装、半导体照明、微机电系统、功率半导体、化合物半导体、新能源光伏

来源：能源学人2018-05-14

作者先对高质量石墨烯薄膜的制备，围绕气相沉积(cvd)、液相剥离 (lpe)和氧化-还原法(oxidation-reduction)三大方面展开讨论，重点对cvd的优劣以及卷对卷规模化制备大面积石墨烯基柔性透明导电薄膜等方面进行了详细阐述

来源：清新电源2018-05-09

为了制备llzo薄膜，可以采用溶胶-凝胶法、脉冲激光沉积 (pld)、基于有机-金属前驱体的化学气相沉积法 (la-cvd)、静电纺丝、气溶胶沉积法 (ad)、射频磁控溅射等方法。...为了减小llzo-li界面电阻，还可以用等离子体增强化学气相沉积 (pecvd)、原子层沉积 (ald)、磁控溅射、蒸发镀膜等方法在llzo与锂负极之间引入组分为si、ge、au、zno、al2o3等的缓冲层

来源：科学通报、石墨邦2018-05-07

相反,液相剥离法、化学气相沉积(cvd)生长等方法则可以得到缺陷更少的石墨烯.huang课题组比较了用氧化-还原法、cvd法等得到的石墨烯作为lfp的导电剂的效果....虽然cvd制备的石墨烯缺陷少、电子导电率高, 但是cvd方法制备的石墨烯成本较高; 另外, 少缺陷石墨烯也不利于锂离子的传输,将会对电池的倍率性能造成影响.在产业界, 液相剥离法得到的石墨烯已被大量用于锂离子电池导电剂

来源：OFweek2018-04-27

图表2：hit太阳能电池工艺流程资料来源：ofweek行业研究中心制备的核心工艺是非晶硅薄膜的沉积，其对工艺清洁度要求极高，量产过程中可靠性和可重复性是一大挑战，目前通常用pecvd法制备。

来源：AutoR智驾2018-04-17

我们刚刚介绍的是从上到下的方法，为了得到更高质量的、大面积的石墨烯，我们采用了从下到上的方法，就是cvd的方法。我们2011年开发了常压cvd，在薄膜上生产石墨烯。...刚刚讲了cvd方法是薄膜，如果单纯的石墨烯是0.7毫克，企业界的人士如果想用在锂电或者储能器件上那是非常困难的，成本也太高了。所以cvd方法能不能规模生长石墨烯?

来源：锂电联盟会长2018-04-02

用cvd法可以制备出高质量大面积的石墨烯，但是理想的基片材料单晶镍的价格太昂贵，这可能是影响石墨烯工业化生产的重要因素。cvd法可以满足规模化制备高质量石墨烯的要求，但成本较高，工艺复杂。

来源：锂电联盟会长2018-03-29

)和物理气相沉积法(pvd).cvd是一种用于生产高质量、高性能的固体材料的化学过程，这个方法通常应用于半导体领域的薄膜制造.pvd是一种真空沉积法，可以用来制作薄膜和涂层.pvd是材料从凝聚态转变为气态..., 2014, 16(9): 4135. bke f, giner i, keller a, et al. plasma-enhanced chemical vapor deposition (pe-cvd

来源：雷锋网2018-03-19

不仅如此，很多经过物理/化学气相沉积(pvd/cvd)制备的全固态电池，其整体厚度可能只有几十个微米，因此就可以制成非常小的电源器件，整合到mems(微机电系统)领域中。...问题之一：成本依然偏高，制备工艺复杂，技术不够成熟目前的全固态锂电池的电解质主要有有机和无机两大体系，成本总体偏高，尤其是无机体系的电池很多采用cvd/pvd等复杂的工艺制备，生产(沉积薄膜)速度慢，成本昂贵