来源:《中国电子报》2007-03-07
他们研制的100nm大角度离子注入机一举打破了由国外公司对高端半导体设备的垄断,实现了我国集成电路制造装备的重大技术跨越,使我国高端集成电路核心设备技术水平跨越了5代,使未来2-3年我国集成电路制造业从