来源：摩尔光伏2020-05-19

从表1 可以发现，a型416管式pecvd 机台与b型308管式pecvd机台生产的电池的效率存在明显差异。...虽然a型416管式pecvd 机台每炉生产电池的数量较b 型308 管式pecvd 机台增加了108片，但炉内镀膜的均匀性变差。

来源：摩尔光伏2020-05-18

磷硅玻璃的存在使得pecvd后产生色差,在pecvd工序将使镀的sixny容易发生脱落，降低电池的转换效率。

来源：民生证券2020-05-15

但尽管如此，pecvd 设备的追逐者仍多于 ald 设备， 其原因在于：（1）电池生产商都已熟练运用 pecvd 设备进行电池正面的氮化硅膜沉积，并且 pecvd 设备在正面钝化的应用中已经积累了巨大的装机量

来源：纳米人2020-05-12

现有报道的所有二端硅基太阳能电池均需要一层额外制备的中间层（隧穿或者复合层），中间层通常需要高真空如磁控溅射或者pecvd等制备，这样便增加了制备的成本及难度。

来源：摩尔光伏2020-05-12

的损失主要在体内复合，所以减少各种复合中心（硅片各类缺陷、暗纹、沾污等）是提高voc的有效方法；b)影响短路电流isc的因素包括：1）绒面减反射效果；2）扩散pn结结构；3）后清洗去边结效果；4）pecvd

来源：华创证券2020-05-08

本征非晶硅薄膜沉积采用化学气相沉积法，根据所用设备的不同，可分为pecvd和hwcvd两种，目前pecvd 为主流路线。...但 hwcvd 的劣势在于，镀膜均匀性不及 pecvd，另外热丝使用过程中不可避免地老化和损耗问 题，制约了设备的 uptime，增加了设备的运行成本，目前松下的量产技术采用了 hwcvd 法。

来源：爱旭2020-04-30

创新性采用管式pecvd制备perc电池，解决了管式pecvd设备的工艺控制难题，成为最早实现perc电池大规模量产的企业之一，首创管式perc技术综合性能优越，拥有多项核心专利，更获得第二十一届中国专利奖

来源：电新产业研究2020-04-30

pecvd和pvd都是板式设备，其加工能力取决于载板面积，比如梅耶博格的pecvd载板一次可以放置56片（7*8）硅片，美国应材的6代pecvd一次可以放置99片（9*11）硅片，硅片尺寸变大之后，可以通过做大载板面积或者减少硅片放置数量来解决

来源：天风机械团队2020-04-29

目前产品有：螺杆干式真空泵、单级旋片泵、双级旋片泵、液环泵，以及罗茨泵搭配上述各种真空泵组成的机组，可广泛运用于半导体行业load lock、metrology、pvd、ashing、etch、ipm、cvd

来源：华西证券2020-04-29

判断未来2-3 年perc 仍为主流，hjt 设备国产化为推进技术迭代、降本增效核心，迈为抢跑hjt 设备，布局丝印、cvd 工艺及及整线自动化系统，hjt 业务有望接力perc 设备再造公司业绩增长新引擎

来源：信达证券2020-04-28

中期来看，电池技术路线由单晶perc向topcon、perc+以及hjt过渡，捷佳伟创持续跟进n型双面、非晶硅/晶体硅异质结(hit)等高效晶硅电池工艺、管式pecvd镀膜工艺、氧化铝二合一工艺、lpcvd

来源：北极星环保网2020-04-26

天珑移动南昌产业基地项目 500000110 江铜耶兹铜箔三期15000吨/年电解铜箔改扩建项目 100000111 兆驰红黄光及mini、mircoled生产项目 1000000112 南昌昂坤半导体设备有限公司mocvd

来源：华夏时报2020-04-26

作为国内仅有的能够为客户提供整套前中端生产线设备的供应商，捷佳伟创pecvd设备的市占率超过50%，同时在下一代电池技术hit上有多方投入和研究。

来源：北极星太阳能光伏网2020-04-24

主要产品包括pecvd及扩散炉等半导体掺杂沉积工艺光伏设备、清洗、刻蚀、制绒等湿法工艺光伏设备以及自动化(配套)设备、全自动丝网印刷设备等晶体硅太阳能电池生产工艺流程中的主要及配套设备的研发、制造和销售

来源：摩尔光伏2020-04-17

等离子增强化学气相淀积(pecvd：plasma enhance chemical vapour deposition),在硅片表面沉积一层氮化硅减反射膜，以增加入射在硅片上的光的透射，减少反射，氢原子搀杂在氮化硅中附加了氢的钝化作用

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2020-04-16

2019年12月，金辰股份将“搬运机器人和智能物料传输仓储系统”和“光伏电池片生产自动化系统”两个募投项目尚未使用的募集资金用途变更至新募投项目“年产40台（套）”遂穿氧化硅钝化接触高效太阳电池用平板式pecvd

来源：五维汇财2020-04-14

加工设备：捷佳伟创：晶体硅太阳能电池设备供应的国内龙头，电池片核心设备pecvd的市占率均超过50%;公司完全掌握了mwt. n-perc、 topcon等技术，并对下一代电池技术hit深入研究。

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2020-04-10

罗博特科光伏业务营收占比达99%，主要为光伏电池片生产商提供自动化生产配套设备，产品包括扩散、pecvd、perc、蚀刻及测试分选自动化设备。

来源：光伏测试网2020-04-08

硅片背面采用硝酸湿法氧化出一层1.4 nm左右的极薄氧化硅层，并利用pecvd在氧化层表面沉积一层20 nm厚的磷掺杂的微晶非晶混合si薄膜。

来源：最佳股票网2020-04-08

公司主营光伏电池和组件自动化生产装备，正在研发储备hit高效电池生产线及核心工艺装备，19年12月拟通过可转债资投建年产40台(套）光伏异质结（hjt)高效电池片用pecvd设备项目8、迈为股份股票300751...晶体硅太阳能池设备供应的国内龙头，电池片核心设备pecvd的市占率均超过50%;公司完全学握了mwt、n-perc、topcon等技术，并对下一代电池技术hit深入研究13、嘉寓股份股票300117，最新股价