来源：SOLARZOOM光储亿家2020-06-23

可以说，应用材料的薄膜沉积（cvd、pvd 等）、氧化、刻蚀、离子注入、快速热处理、化学机械平整（cmp）、计量检验等设备基本覆盖了集成电路生产的全部环节。...另外有数据显示，在全球 pvd(physical vapor deposition)设备市场，应用材料拥有近 55%的份额，在全球 cvd(chemicalvapordeposition)设备市场份额也达到了近

来源：中国光伏行业协会CPIA2020-06-22

电池片设备主要包括制绒、扩散炉、在线湿法刻蚀机、背钝化、pecvd、激光开槽、丝网印刷机以及测试分选设备。...我国光伏设备企业从硅材料生产、硅片加工、光伏电池片、组件设备的生产以及相应的纯水制备、环保处理、净化工程的建设、以及与光伏产业链相应的检测设备、模拟器等，已经具备成套供应能力，部分产品如湿法清洗设备、制绒机、扩散炉、管式pecvd

来源：光伏新闻2020-06-22

一、perc专利战如鲠在喉韩华专利的核心是ald镀氧化铝+pecvd镀氮化硅的结构，以及用此结构来生产出来的太阳能电池，该技术主要应用于perc电池中，而perc电池早已成为主流电池工艺，据不完全统计，

来源：新能源沙龙 中信建投2020-06-17

在单晶铝背场电池产线的设备投资中，丝网印刷机、减反膜pecvd和自动化设备占比较高，分别可达总投资的39%、18%和13%。...常规单晶铝背场电池常规p型单晶铝背场电池使用p型硅片做衬底，在槽式制绒清洗机中完成清洗制绒，在扩散炉中进行扩散制pn结，使用湿法刻蚀清洗机或等离子体刻蚀机与去psg清洗机完成刻蚀和去磷硅玻璃，使用pecvd

来源：允哥聊风电2020-06-16

我国光伏设备企业从硅材料生产产、硅片加工、光伏电池片、组件的生产以及相应的纯水设备、环保处理、净化工程的建设、以及与光伏产业链相应的检测设备、模拟器等，已经具备成套供应能力，部分产品如湿法清洗设备、制绒机、扩散炉、管式pecvd

来源：电新产业研究2020-06-15

pecvd不管在理论上还是工艺上都是可行的，此前产业中存在pecvd能否做大的争论。...一旦彻底突破，pecvd的gw投资将从5亿下降到2.5亿。pecvd突破将带动设备投资快速下降。

来源：中国电力2020-06-10

al2o3镀膜设备产能70%以上集中在欧洲和韩国企业，n型双面钝化电池（n-pert）高温硼扩散炉80%来自于荷兰tempress公司，异质结电池（hjt）的清洗、物理气相沉积（pvd）、化学气相沉积（cvd

来源：华杉投资2020-06-08

其中丝网印刷机和pecvd是电池片设备，长晶炉是硅片设备商。光伏设备龙头市占率光伏辅材主要分为光伏玻璃和eva胶膜。

来源：苏大光伏校友会2020-06-08

高登赛1gw高效异质结太阳电池项目，采用国际最先进的清洗制绒机、pecvd非晶硅镀膜机、pvd沉积导电膜机和电极印刷机，匹配自主研发的高效工艺技术路线，产品30年无光衰。

来源：河北省发改委2020-06-03

产品覆盖平板显示、led、光伏电池、芯片制造等诸多领域，涉及溅射、蒸发、多弧离子镀等多种pvd技术以及pecvd、lpcvd、mocvd 等多种cvd 技术用单体和连续化生产高技术装备。

来源：天风机械团队2020-06-02

格局固化：pecvd端龙头pecvd设备是公司核心的产品，也是重要的毛利来源，其采用的核心技术和设备关键性能整体均处于国际先进水平。...在perc+时代，捷佳伟创积极研发深入布局，目前在topcon工艺的核心设备lpcvd上，其自主研发的lpcvd能在27-279pa的反应压力下进行化学气相沉积，膜的质量和均匀性更好，质量优且成本低，深受市场欢迎

来源：老成之见2020-06-02

根据上市公司与产业信息，目前钧石能源自研产线可以支撑量产电池片平均效率达到24.2%；理想万里晖pecvd设备实现实验室转换效率25.1%；迈为股份自主研发生产pecvd与丝网印刷设备，且已具备提供hjt

来源：北极星太阳能光伏网2020-06-01

此前，爱康已经在中试研发线引进了捷佳伟创220mw rpd设备，在后续扩产前将在某些关键工艺设备上实行共同研发，主要聚焦等离子化学气象沉积镀膜设备(pecvd)和新式tco镀膜设备，双方将共同开发具有自主知识产权和技术专利的新技术和新工艺

来源：招商证券 雪球2020-06-01

pecvd不管在理论上还是工艺上都是可行的，此前产业中存在pecvd能否做大的争论。...一旦彻底突破，pecvd的gw投资将从5亿下降到2.5亿 pecvd突破将带动设备投资快速下降。

来源：光伏测试网2020-05-27

pecvd方法区别于其他cvd方法的特点在于等离子体中含有大量高能量的电子，它们可以提供化学气相沉积过程所需的激活能。...电子与气相分子的碰撞可以促进气体分子的分解、化合、激发和电离过程，生成活性很高的各种化学基团，因而显著降低cvd薄膜沉积的温度范围，使得原来需要在高温下才能进行的cvd过程得以在低温下实现。

来源：长江商报2020-05-27

金辰股份本次非公开发行募集资金金额不超过3.8亿元（含3.8亿元）主要用于年产40台（套）光伏异质结（hjt）高效电池片用pecvd设备项目及补充流动资金。...目前，具备供应量产hjt电池生产设备（尤其是关键工艺设备pecvd）能力的主要为国外厂商，如梅耶博格、松下等，设备价格昂贵，整线设备投资高达10亿元/gw左右。

来源：北极星太阳能光伏网2020-05-25

据了解，本次金辰股份非公开发行募集资金金额不超过3.8亿元，扣除发行费用后的募集资金净额将用于投资年产40台(套)光伏异质结(hjt)高效电池片用pecvd设备项目及补充流动资金。...对此，金辰股份指出，项目的实施将有助于其进一步开拓光伏电池片生产设备的产品线，抓住光伏电池技术升级的关键时机抢占光伏电池片的核心生产装备pecvd设备的市场，进一步提高公司在光伏行业智能制造装备领域的市场地位

来源：光伏技术2020-05-22

本实验采用原子层淀积(ald)的方式生长al2o3；在al2o3表面镀一层约150nm的sixny保护层后，使用pecvd技术在硅片正表面镀一层厚度约为80nm的sixny减反膜；3.

来源：中银证券2020-05-19

根据上市公司与产业信息，目前钧石能源自研产线可以支撑量产电池片平均效率达到24.2%；理想万里晖pecvd设备实现实验室转换效率25.1%；迈为股份自主研发生产pecvd与丝网印刷设备，且已具备提供 hjt

来源：光伏們2020-05-19

工艺流程简单 异质结电池的另一项优势在于工艺步骤相对简单，以梅耶博格所开发的整合沉积正反面非晶硅薄膜的 helia pecvd 及沉积电池正反面的透明氧化物导电薄膜（tco）的helia pvd 设备来说...，藉由四个主要设备来完成八个工艺步骤，使得工艺流程极大地简化，生产场地占地面积大大缩小，其工艺步骤如下：01、制绒清洗机 ：电池正反面制绒 02、等离子体增强化学气相（pecvd）沉积正面本征非晶硅薄膜